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碳基材料

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详细介绍

高纯石墨热场部件:第三代半导体SiC长晶炉用石墨加热器、石墨坩埚等,实现第三代半导体装备热场部件的自主可控。

高纯石墨粉体:实现SiC单晶“卡脖子”领域核心基础原料的自主配套。

碳化硅涂层石墨基座:硅外延设备、MOCVD设备等的关键零部件的进口替代。

碳/碳复合材料:广泛应用于半导体和光伏的单晶拉制炉热场等装备领域。
 

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