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气相沉积炉

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详细介绍

  该装备是将碳纤维预制体置于反应室内,将工艺气体在高温下通过一系列的脱氢、环化、缩聚等化学反应,生成的碳原子在碳纤维表面不断地堆积,形成热解碳,随着热解碳的不断沉积或渗透,多孔的预制体获得增密增强的工艺过程。该工艺过程需要重复多个沉积周期。
技术参数 
  最高温度:1200℃     常用工作温度:1100℃
  温度均匀度:≤±10℃ 仪表控温精度: ±1℃
  工艺气体:甲烷       抽真空时间:≤120min
 

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